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KOSAKA臺階儀ET4000薄膜測厚儀

簡要描述:KOSAKA臺階儀ET4000薄膜測厚儀臺階儀可以應用在半導體,光伏/太陽能,光電子,化合物半導體,OLED,生物醫藥,PCB封裝等領域的薄膜厚度,臺階儀測量薄膜厚度,臺階高度,粗糙度(Ra,Rq,Rmax...),劃痕深度,磨損深度,薄膜應力(曲定量率半徑法)等定量測量方面。其高精度,高重復性,自動探索樣品表面

  • 產品型號:
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2024-01-29
  • 訪  問  量:953

詳細介紹

品牌其他品牌應用領域能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣

KOSAKA臺階儀ET4000薄膜測厚儀產品概述:

● 高精度.安定性.機能性適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細形狀、段差、粗度測定的機型。


● 是多機能的全自動微細形狀測定機,針對用途及樣品尺寸有多種機型可供選擇。


● ET4000A/ ET4000AK一可實現2D/3D表面形狀測量。


● ET4000M一高性能的泛用微細形狀測定機。


● ET4000L一對應大型工件的全自動微細形狀測定機。


● ET4300一適合12"樣品測量。

臺階儀/膜厚儀ET4000系列產品參數


KOSAKA臺階儀ET4000薄膜測厚儀產品概述:


最大試片尺寸210×210mm~300×400mm
重現性1σ 0.5nm以內
測定范圍Z:100um X:100~305mm (Y移動量:150~400mm)
分解能Z:0.1nm X:0.1um
測定力

0.5UN~500UN (0.05mg-50mg)


臺階儀可以應用在半導體,光伏/太陽能,光電子,化合物半導體,OLED,生物醫藥,PCB封裝等領域的薄膜厚度,臺階儀測量薄膜厚度,臺階高度,粗糙度(Ra,Rq,Rmax...),劃痕深度,磨損深度,薄膜應力(曲定量率半徑法)等定量測量方面。其高精度,高重復性,自動探索樣品表面


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